Um Effektiv Maschinen präzise Merkmale in harten, spröden Materialien wie Glas, entwickelten Keramiken, CVD SIC, Quarz, Einzelkristallmaterialien, PCD, Ferrit, Graphit, Glasskohle, Verbundstoffe und Piezokeramik. Eine nahezu unbegrenzte Anzahl von Feature Formen - einschließlich rund, quadratisch und ungerade Thru-Löcher und Hohlräume von unterschiedlichen Tiefen sowie OD-ID Features-can mit hoher Qualität und Konsistenz bearbeitet werden (siehe Abbildung 3). Features in der Größe von 0,008 in. Bis zu mehreren Zoll sind in kleinen Werkstücken, Wafern, größeren Substraten und Materialrohlingen möglich. Aspektverhältnisse als hoch wie 25-bis-1 sind je nach Materialtyp und Funktionsgröße möglich.
Variationen der Merkmalsgröße, der Form- und Hohlraumtiefe werden typischerweise in einer Toleranz von ± gehalten 0.002 in., zwar steigende Toleranzen in Abhängigkeit von den Anwendungsanforderungen und der Prozesse Die Bearbeitung von Teilen mit vorbestehenden bearbeiteten Merkmalen oder Metallisierung ist möglich, ohne die Integrität der vorbestehenden Merkmale oder der Oberfläche des Werkstücks zu beeinflussen. Standort Toleranz der Merkmale relativ zu Treferenz oder vorbestehende Merkmale werden typischerweise in ± 0.002 in., Obwohl Je nach Anwendung sind engere Toleranzen möglich.
Abbildung 4. A Um-bearbeitet Quadratisches Loch in 0,0175-in. dickes Glas. Das bearbeitete Merkmal zeigt eine saubere Kante, und der natürliche Eckradius ist < 0,005 in.
Im Gegensatz zu herkömmlichen Bearbeitungsmethoden erzeugt die Ultraschallbearbeitung wenig oder nein Sub-Oberfläche Schaden und Nein Wärme betroffen Zone. Die Qualität eines Ultraschallschlusses sorgt für reduzierte Stress und eine geringere Wahrscheinlichkeit von Frakturen, die zu Gerät oder Anwendungsausfall über die Lebensdauer des Produkts führen können (siehe Abbildung 4). Um ist besonders gut geeignet für hohe Zuverlässigkeit Anwendungen Wo Die Erhaltung der kritischen Materialeigenschaften und der Vermeidung der Einführung von Restspannungen aus Bearbeitungsverfahren sind für das Projekt Erfolg.
Ein zusätzlicher Vorteil ist, dass Teile ultraschonisch ultraschall häufig in nachgeschalteten Bearbeitungsprozessen tätig sind als Verwenden Sie Teile, die mit mehr herkömmlicheren Bearbeitungsmethoden bearbeitet werden. Die verbesserte Leistung kann zu wirtschaftlichen Vorteilen aus höheren Renditen, niedrigeren Schrott- und Betriebskosten und verbesserten Effizienz führen.
Wabenstruktur auf der Rückseite eines Siliziumspiegels für NASA bearbeitet.